Воздушен компресор без масло за полупроводнички лаборатории

За да се воспостават сигурни комунални линии за прецизни истражувачки капацитети, извор од China Oil Free Air Compressor for Semiconductor Labs добавувачите. Решенијата за воздух со висока чистота на DECHUAN користат повеќеслојни заптивки за изолација на јаглерод за да ги елиминираат трагите на јаглеводороди, обезбедувајќи беспрекорен квалитет на гас за критичното силиконско гравирање.

Критични барања за чистота на гас за чиста просторија

Во производството на полупроводници и литографијата со тенок филм, дури и една микроскопска капка маслена пареа пренесена низ воздушната линија може да уништи цела производна серија. Овој специјализиран производ е дизајниран да ги исполни апсолутно највисоките стандарди за чистота:

• TÜV сертифицирана Класа 0 Воздушна Испорака: Нашите системи се подложени на ригорозни тестирања на променливи работни температури. Независната анализа потврдува апсолутно нула траги од масло во излезниот проток на воздух.

• Внатрешни воздушни патеки без корозија: секое парче цевковод, поладен пакет и матрица за одвојување низводно од комората за компресија се направени од врвен нерѓосувачки челик за да се спречат 'рѓа снегулки да ги контаминираат воздушните линии во чиста просторија.

• Напредна интеграција на Elektronikon®: Интегрираниот контролер внимателно ги следи оперативните метрики и има проактивно безбедносно исклучување за да се осигура дека нечист воздух никогаш нема да влезе во лабораториската мрежа.

Високата цена на микро-контаминација во електрониката

Во производството на полупроводнички нафора, една капка масло аеросол може да ја контаминира целата средина за чиста просторија, уништувајќи илјадници силиконски наполитанки и предизвикувајќи милиони изгубено време за производство. Традиционалните компресори за воздух не можат да гарантираат апсолутна нула јаглеводородна чистота потребна за овие процеси во нанометарски размери.

Специјализираниот воздух компресор без масло за полупроводнички лаборатории гарантира чиста безбедност на процесот:

• Сертифициран проток на воздух CLASS 0: строго тестиран од TÜV низ екстремни термички и притисочни опсези за да се обезбеди апсолутна нула присуство на масло.

• Внатрешни делови без честички: предладилниците од не'рѓосувачки челик и разменувачите на топлина со ѕвездички ги елиминираат оксидирачките снегулки или хемиското осипување во воздушната патека.

• Електронски штит за следење: алармите за проактивно одржување и автоматското исклучување на дефектот ги спречуваат отстапувањата на системот пред да стигнат до алатките за чиста соба.

Параметри за техничка чистота

• Оцена на моќност на системот: 55kw - 900kw конфигурации со висока густина.

• Волуметриска стапка на испорака: 4,2 - 148,5 m³/min излезна чиста струја.

• Класификација на содржина на масло: ISO 8573-1 Класа 0 целосно валидација без масло.

• Распоред на ладење: флуидното ладење од нерѓосувачки челик го спречува испуштањето на хемикалии.

Референтните услови за изведба за единицата беа измерени според Анекс В, 4-то издание (2009) на ISO 1217:

· Релативна влажност: 0%

· Апсолутен влезен притисок: 1 бари

· Влезна температура: 20°C Стапката на празнење (FAD) е измерена при следните работни притисоци:

Тип на постојана брзина:

·  -7,5 бар тип: 7 бари

· -8,6 бари тип: 7 бари

· -10 бари тип: 9 бари

VSD тип:

· -8,6 бари тип: 7 бари

· -10,4 бари тип: 9 бари

· (2) Класа А пондерирана емисија на ниво на звучен притисок на работната станица (LpWSAd). Измерено според ISO 2151:2004 (со користење на метод на скенирање со интензитет на звук 150 9614/2). Новододадениот фактор на корекција е целосно неизвесна вредност (KpAd), во согласност со кодот за тестирање.

· (3) Тежината е само за референца; ќе преовладува вистинската испорачана тежина.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

Според ISO 1217 Анекс В, 4то издание (2009), референтните услови за изведба на единицата се како што следува:

· Релативна влажност: 0%

· Апсолутен влезен притисок: 1 бари

· Влезна температура: 20°C

Поместување FAD се мери при следните работни притисоци:

Модели со постојана брзина:

-7,5 бар модели: 7 бари

-8,6 бар модели: 7 бари

-10 бар модели: 9 бари

VSD модели:

-8,6 бар модели: 7 бари

-10,4 бар модели: 9 бари

(2) Ниво на звучен притисок пондерирана емисија од класа А на работната станица (LpWSAd). Измерено според ISO 2151:2004 (ИСО 9614/2 метод на скенирање со интензитет на звук). Новододадениот фактор на корекција KpAd е неизвесен, што е во согласност со кодот за тестирање.

(3) V1=380V, V2=400V.

(4) Тежината е само за референца; ќе преовладува вистинската тежина.

ЗР/ЗТ 200-275 (ФФ)

- Релативна влажност: 0%

-Апсолутен влезен притисок: 1bar

- Влезна температура: 20°℃

Стапката на празнење (FAD) беше измерена при следните работни притисоци

Тип на постојана брзина:

-7,5 бари тип: 7 бари

-8,6 бари тип: 7 бари

-10 бари тип: 9 бари

VSD-тип:

-8,6 бари тип: 7 бари

-10,4 бари тип: 9 бари

(2) Ниво на звучен притисок пондерирана емисија од класа А на работната станица (LpWSAd).

Измерено според ISO 2151:2004 (со користење на 150 9614/2 (метод на скенирање со интензитет на звук).

Новододадениот фактор на корекција е целосно неизвесна вредност (KpAd), во согласност со кодот за тестирање.

(3) Тежината е само за референца; ќе преовладува вистинската испорачана тежина.

ЗР 300-750

Референтните услови за изведба за единицата беа измерени според Анекс В, 4-то издание (2009) на ISO 1217:

· Релативна влажност: 0%

· Апсолутен влезен притисок: 1 бари

· Влезна температура: 20°C Стапката на празнење (FAD) е измерена при следните работни притисоци:

Тип на постојана брзина:

·  -7,5 бар тип: 7 бари

· -8,6 бари тип: 7 бари

· -10 бари тип: 9 бари

VSD тип:

· -8,6 бари тип: 7 бари

· -10,4 бари тип: 9 бари

· (2) Класа А пондерирана емисија на ниво на звучен притисок на работната станица (LpWSAd). Измерено според ISO 2151:2004 (со користење на метод на скенирање со интензитет на звук 150 9614/2). Новододадениот фактор на корекција е целосно неизвесна вредност (KpAd), во согласност со кодот за тестирање.

· (3) Тежината е само за референца; ќе преовладува вистинската испорачана тежина.

ZR 200X-400X

Референтните услови за изведба за единицата беа измерени според Анекс В, 4-то издание (2009) на ISO 1217:

· Релативна влажност: 0%

· Апсолутен влезен притисок: 1 бари

· Влезна температура: 20°C Стапката на празнење (FAD) е измерена при следните работни притисоци:

Тип на постојана брзина:

·  -7,5 бар тип: 7 бари

· -8,6 бари тип: 7 бари

· -10 бари тип: 9 бари

VSD тип:

· -8,6 бари тип: 7 бари

· -10,4 бари тип: 9 бари

· (2) Класа А пондерирана емисија на ниво на звучен притисок на работната станица (LpWSAd). Измерено според ISO 2151:2004 (со користење на метод на скенирање со интензитет на звук 150 9614/2). Новододадениот фактор на корекција е целосно неизвесна вредност (KpAd), во согласност со кодот за тестирање.

· (3) Тежината е само за референца; ќе преовладува вистинската испорачана тежина.

Студија на случај на корисник на Cleanroom лабораторија

Производител на електроника во Азија го инсталираше специјализираниот воздушен систем на DECHUAN за снабдување на јамки за производство на азот со висока чистота и пневматски краци за тестирање. Претходно, стандардните компресори дозволуваа трагите на пареата од маслото да мигрираат покрај вградените филтри, обложувајќи ги леќите за литографија и предизвикувајќи микро-фрактури во облогите. По инсталирањето на Oil Free Air Compressor за полупроводнички лаборатории, лабораторијата пријави нула инциденти со контаминација на линиите поврзани со масло, заштедувајќи значителни трошоци за чистење и рекалибрација на просторијата во текот на две години континуирано работење.

Прилагодено кроење и контрола на компоненти

• Надградба на материјал од не'рѓосувачки челик: Ги заменуваме сите стандардни внатрешни лиени компоненти со висококвалитетен нерѓосувачки челик за да ги исполниме строгите упатства за микро-контаминација.

• Напредни протоколи за комуникација: единицата е претходно наполнета со специјализирани комуникациски протоколи, што им овозможува на контролните центри за чиста соба далечински да ги следат метриките на воздухот.

• Компактен структурен отпечаток: Внатрешниот распоред е оптимизиран за да се минимизира отпечатокот, што го прави лесно да се инсталира во тесни лабораториски подрумски простори.

ЧПП за индустриски купувачи

П: Дали можеме да го поврземе овој компресор директно со јамки за филтрирање со ултра висока чистота (UHP)?

О: Да, нашиот излез на воздух е целосно компатибилен со напредните сушачи за сушење во чиста просторија и системи за филтрирање на честички под микрон. Бидејќи суровиот воздух содржи нула пареа од масло, вашите специјализирани филтри за точка на употреба нема да се затнат со магла за масло, што го продолжува животниот век на филтерот.

П: Како заптивките од типот Z обезбедуваат нулта миграција на маслото од склопот на менувачот?

О: Воздушниот компресор без масло за полупроводнички лаборатории има физички атмосферски простор за вентилација помеѓу куќиштето на менувачот подмачкано со масло и комората за сува компресија. Специјализираните бесконтактни јаглеродни прстени заптивки се спарени со канали со негативен притисок, со што се осигурува дека маглата од маслото за менувачот е целосно блокирана да влезе во протокот на чист воздух.

П: Што се случува ако внатрешен сензор за температура детектира ненормално отчитување?

О: Контролорот Elektronikon® зема примероци од витални податоци повеќе пати во секунда. Ако се открие скок на температурата во која било фаза, системот веднаш активира автоматско исклучување и ги затвора изолационите вентили, обезбедувајќи неизладениот воздух никогаш да не тече низводно во чувствителната опрема на вашата лабораторија.